Պլազմայից քիմիական գոլորշու նստեցման (PECVD) գործընթացում յուրաքանչյուր էլեկտրական միացում՝ սկսած ռադիոհաճախականության էլեկտրահաղորդումից մինչև պրոցեսային գազի կառավարումը, անմիջականորեն ազդում է բարակ թաղանթի նստեցման և չիպի արտադրողականության միատարրության վրա: Մանրացված սարքավորումների, բարձր վակուումի և ուժեղ էլեկտրամագնիսական միջամտության դժվար միջավայրի պայմաններում,ՎԱԳՈpicoMAX® միակցիչները, իրենց երեք հիմնական առավելություններով՝ «կոմպակտություն, հուսալիություն և արդյունավետություն», դարձել են PECVD համակարգերի համար իդեալական միացման լուծում։
Նորարարական կոմպակտ դիզայն
Հարմարվելով ճշգրիտ խցիկների դասավորությանը
PECVD սարքավորումների ներքին տարածքը սահմանափակ է, ինչը պահանջում է հզորության, ազդանշանի և զգայուն գծերի խիտ դասավորություն ռեակցիայի խցիկի շուրջ: picoMAX®-ը օգտագործում է մեկ զսպանակով, կրկնակի գործողության դիզայն՝ 3.5/5.0/7.5 մմ բազմակի քորոցների քայլով: Միացումից հետո այն զբաղեցնում է 30%-ով պակաս տարածք, քան նախորդ արտադրանքները, կատարելապես հարմարվելով խցիկի շուրջ լարերի պահանջներին: Դրա անցքային տիպի միակցիչը գրեթե ամբողջությամբ ներդրված է քորոցի գլխիկի մեջ, ապահովելով կողք կողքի հավաքում առանց բևեռների կորստի, զգալիորեն բարելավելով տպատախտակի օգտագործումը և թույլ տալով ազդանշանի և էլեկտրահաղորդման գծերի կարգավորված դասավորություն՝ առանց խանգարելու գործընթացային գազի հոսքի դաշտին:
Հզոր պաշտպանություն ծայրահեղ աշխատանքային պայմաններից
PECVD գործընթացները ներառում են բարձր վակուումային, բարձր հաճախականության պլազմային և թրթռման միջավայրեր, ինչը խիստ պահանջներ է ներկայացնում միակցիչի հուսալիության համար: picoMAX®-ը առանձնանում է կայուն կառուցվածքով՝ մինչև 12 գ թրթռման դիմադրությամբ, որը կանխում է բարձր հաճախականության թրթռումից առաջացած միացման թուլացումը: Այն նաև ներառում է սխալ տեղադրման դեմ դիզայն և ամրացնող սարք, որը վերացնում է տեղադրման սխալները և կանխում պատահական անջատումը, ապահովելով սարքավորումների անխափան աշխատանք՝ առանց անսարքությունների:
Արագ միացում առանց գործիքների
picoMAX®-ը առանձնանում է գործիք չպահանջող արագ միացման տեխնոլոգիայով, որը թույլ է տալիս «միացնել և պահել» միացումներ ինչպես միաշղթա, այնպես էլ բազմաշղթա լարերի համար՝ սառը սեղմված միակցիչներով: Բարդ լարային միացումները կատարվում են մեկ քայլով՝ զգալիորեն բարելավելով հավաքման արդյունավետությունը և կրճատելով վրիպազերծման ցիկլերը: Մոդուլային դիզայնը համատեղելի է վերահոսող եռակցման գործընթացների հետ՝ բավարարելով ավտոմատացված արտադրության ծախսերի կրճատման կարիքները: Այն նաև ներառում է PECVD միացման բոլոր սցենարները. 3.5 մմ քորոցի քայլը հարմար է 0.2-1.5 մմ² ազդանշանային լարերի համար, մինչդեռ 5.0/7.5 մմ քորոցի քայլը աջակցում է 16A էլեկտրահաղորդման գծերին: Այն աջակցում է լարից տախտակ և պատի միջով տեղադրման մեթոդներին, համատեղելի է կառավարման վահանակի և խոռոչի լարերի հետ և համապատասխանում է GB/T 5226.1 էլեկտրական անվտանգության ստանդարտներին՝ ստեղծելով ամուր պաշտպանություն գործընթացի կայունության համար:
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, որտեղ նանոմետրային մակարդակի գործընթացների ճշգրտությունը գերակա է, հուսալի միացումները բարձր արտադրողականության երաշխիք են։ՎԱԳՈpicoMAX®-ը, իր հեղափոխական արտադրանքի դիզայնի կոնցեպտով, հասնում է «փոքր չափի, բարձր արդյունավետության»՝ կոմպակտ տարածքում, ապահովելով կայուն, արդյունավետ և երկարատև միացման լուծումներ PECVD սարքավորումների համար: Սա օգնում է կիսահաղորդչային արտադրողներին հաղթահարել ճշգրիտ գործընթացային միացումների մարտահրավերները՝ պահպանելով յուրաքանչյուր չիպի միկրոմետրային մակարդակի ճշգրտությունը:
Հրապարակման ժամանակը. Մարտ-13-2026